๑. จัดเตรียมเครื่องสักการะ เช่น ดอกไม้ ธูป เทียน มาพร้อมกันที่วัด ตามเวลานัดหมาย เพื่อฟังโอวาทหรือพระธรรมเทศนา และเวียนเทียน
๒. ก่อนออกจากบ้าน ควรอาบน้ำชำระร่างกายให้สะอาด ทำจิตใจให้บริสุทธิ์ผ่องใส และแต่งกายให้สุภาพเรียบร้อย
๓. เมื่อถึงวัดแล้ว ควรอยู่ในอาการสำรวม ไม่พูดคุยหยอกล้อ วิ่งเล่น หรือกระทำภารกิจอื่นอันไม่ควร เช่น เคาะระฆังเล่น จุดดอกไม้ไฟ ฯลฯ
๔. เมื่อถึงเวลาประกอบพิธี ให้ทุกคนไปเข้าแถวหรือเข้าไปในสถานที่กำหนดโดยพร้อมเพรียงกัน
๕. ก่อนเริ่มพิธีเวียนเทียน พระสงฆ์ผู้เป็นประธาน จะกล่าวให้โอวาท ทุกคนต้องพนมมือถือดอกไม้ธูปเทียนตั้งใจฟังด้วยความสงบ กล่าวคำสาธุ เมื่อพระสงฆ์ให้โอวาทจบ
๖. ในพิธีสวดมนต์ จะมีผู้กล่าวนำคำบูชาเนื่องในวันมาฆบูชา และคำบูชาพระรัตนตรัย ให้ทุกคนจุดธูปเทียนประนมมือ กล่าวตามด้วยความเคารพ มีจิตใจยึดมั่น
บทสวดมนต์ในการทำพิธีวันมาฆบูชา มีดังนี้
๑. บทสวดมนต์ไหว้พระบูชาพระรัตนตรัย (บทอรหัง สัมมา ฯ)
๒. บทสวดนมัสการนอบน้อมบูชาพระพุทธเจ้า (บทนะโมฯ ๓ จบ)
๓. บทสวดสรรเสริญพระพุทธคุณ (บทอิติปิโส ฯ)
๔. บทสวดสรรเสริญพระพุทธคุณ สวดทำนองสรภัญญะ (บทองค์ใดพระสัมพุทธ ฯ)
๕. บทสวดสรรเสริญพระธรรมคุณ (บทสวากขาโต ฯ)
๖. บทสวดสรรเสริญพระธรรมคุณ สวดทำนองสรภัญญะ (บทธรรมมะคือ คุณากร ฯ)
๗. บทสวดสรรเสริญพระสงฆคุณ (บทสุปฏิปันโน ฯ)
๘. บทสวดสรรเสริญพระสงฆคุณ สวดทำนองสรภัญญะ (สงฆ์ใดสาวกศาสดา ฯ)
๙. บทสวดพุทธมังคลชยสิทธิคาถา (บทพาหุง ฯ)
๑๐. คำแปลบทสวดพุทธมังคลชยสิทธิคาถา สวดทำนองสรภัญญะ (ปางเมื่อพระองค์ ฯ)
๑๑. บทสวดบูชาเนื่องในวันมาฆบูชา (อัชชายัง ฯลฯ)
๑๒. คาถาสวดมาฆบูชา
สำหรับบทสวดในข้อที่ ๑๑ และ ๑๒ นั้น ค่อนข้างยาว เวลาทำพิธีจะมีผู้กล่าวนำ หากสนใจรายละเอียดให้ดูในหนังสือมนต์พิธี (หนังสือคู่มือสำหรับสวดมนต์ของพระ)
หลังจากสวดมนต์เสร็จ ประธานในพิธีจะนำเวียนเทียน โดยเริ่มจากพระสงฆ์ สามเณร อุบาสก อุบาสิกา ตลอดจนนักเรียนนักศึกษา และประชาชนทั่วไป หากครูอาจารย์พานักเรียนมาเป็นหมู่คณะในตอนบ่าย ก็จะให้มีการเวียนเทียนกันก่อน
ในการเดินเวียนเทียนรอบโบสถ์ จะกระทำ ๓ รอบ โดยเวียนไปทางขวา เรียกว่า เวียนแบบทักขิณาวัฏ
ในรอบที่ ๑ ให้รำลึกถึงคุณพระพุทธเจ้า โดยภาวนาคาถา บทอิติปิโส ภควาฯ ไปจนจบ เพื่อให้จิตใจมีสมาธิ
ในรอบที่ ๒ ให้รำลึกถึงคุณพระธรรม โดยภาวนาคาถา บทสวากขาโต ภะคะวะตา ธัมโมฯ ไปจนจบ
ในรอบที่ ๓ ให้รำลึกถึงคุณพระสงฆ์ โดยภาวนาคาถา บทสุปฏิปันโน ภะคะวะโต สาวะกะสังโฆฯ ไปจนจบ
๗. ในการเดินเวียนเทียน ต้องทำจิตใจให้มีสมาธิ สงบ และแน่วแน่อยู่กับบทบูชาพระพุทธคุณ พระธรรมคุณ และพระสังฆคุณ ไม่ควรส่งเสียงพูดคุยหรือเดินแซงผู้ที่เดินอยู่ข้างหน้า
๘. เมื่อเวียนเทียนครบ ๓ รอบแล้ว ให้นำดอกไม้ ธูป เทียน ไปวางไว้ในจุดกำหนด เพื่อสะดวกแก่การเก็บทำความสะอาด
๙. หลังจากเสร็จพิธีเวียนเทียนแล้ว ควรช่วยกันเก็บกวาดทำความสะอาดบริเวณโบสถ์ให้เรียบร้อย แล้วแยกย้ายกันกลับบ้านด้วยความสงบอิ่มเอมใจ หรืออยู่ร่วมพิธีอื่นๆ ที่ทางวัดจัดให้มีขึ้น
